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產(chǎn)品名稱：RTS-8 型四探針測試儀
- 產(chǎn)品型號：RTS8
- 產(chǎn)品廠商：深圳時代之峰科技有限公司
- 產(chǎn)品文檔：
RTS-8四探針測試儀-之峰
RTS-8 型四探針測試儀
RTS-8 型四探針測試儀是運用四探針測量原理的多用途綜合測量設(shè)備。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國 A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計的，專用于測試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的專用儀器。
RTS-8 型四探針測試儀由主機(jī)、測試臺、四探針探頭、計算機(jī)等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示，亦可由計算機(jī)控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機(jī)中加以分析，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果。
RTS-8 型四探針測試儀采用了*新電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計、裝配。具有功能選擇直觀、測量取數(shù)快、精度高、測量范圍寬、穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點。
RTS-8 型四探針測試儀適用于半導(dǎo)體材料廠、半導(dǎo)體器件廠、科研單位、高等院校對半導(dǎo)體材料的電阻性能測試。
RTS-8 型四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機(jī)上擁有友好測試界面的用戶程序，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進(jìn)行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計分析。
測試程序控制四探針測試儀進(jìn)行測量并采集測試數(shù)據(jù)，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機(jī)中加以分析，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄、顯示出來。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel 中，讓用戶對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。
RTS-8 型四探針測試儀
| 測量范圍 |
電阻率：10-5～105 Ω.cm(可擴(kuò)展)； 方塊電阻：10-4～106 Ω/□(可擴(kuò)展)； 電導(dǎo)率：10-5～105s/cm； 電阻：10-5～105 Ω； |
| 可測晶片直徑（選配) |
140mmX150mm(配S-2A 型測試臺)； 200mmX200mm(配S-2B 型測試臺)； 400mmX500mm(配S-2C 型測試臺)； |
| 恒流源 | 電流量程分為1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA 六檔，各檔電流連續(xù)可調(diào) |
| 數(shù)字電壓表 |
量程及表示形式000.00～199.99 mV； 分辨力：10μV； 輸入阻抗＞1000MΩ； 精度：±0.1% ； 顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性、超量程自動顯示； |
| 四探針探頭基本指標(biāo) |
間距：1±0.01mm； 針間絕緣電阻：≥1000MΩ； 機(jī)械游移率：≤0.3％； 探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm； 探針壓力：5～16 牛頓(總力)； |
| 四探針探頭應(yīng)用參數(shù) | (見探頭附帶的合格證) |
|
模擬電阻測量相對誤差 ( 按JJG508-87 進(jìn)行) |
0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3％±1 字 |
| 整機(jī)測量*大相對誤差 | (用硅標(biāo)樣片:0.01-180Ω.cm 測試) ≤±5％ |
| 整機(jī)測量標(biāo)準(zhǔn)不確定度 | ≤5％ |
| 測試模式 | 可連接電腦測試也可不連接電腦測試。 |
| 軟件功能（選配） | 軟件可記錄、保存、打印每一點的測試數(shù)據(jù)，并統(tǒng)計分析測試數(shù)據(jù)*大值、*小值、平均值、*大百分變化、平均百分變化、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖，也可把測試數(shù)據(jù)輸出到Excel 中，對數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動測量功能，根據(jù)樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試。 |
| 計算機(jī)通訊接口 | 并口，高速并行采集數(shù)據(jù)，連接電腦使用時采集數(shù)據(jù)到電腦的時間只需要1.5秒（在 0.1mA、1mA、10mA、100mA 量程檔時）。 |
| 標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境 |
溫度：23±2℃； 相對濕度：≤65％； 無高頻干擾； 無強(qiáng)光直射； |
RTS-8 四探針測試儀 套 ￥15000
四探針測試儀主機(jī)一臺、四探針測試臺一臺、四探針探頭一個
RTS-8 四探針測試儀 套 ￥19000
四探針測試儀主機(jī)一臺、四探針測試臺一臺、四探針探頭一個、測試軟件（含測控模塊）
RTS-8 四探針測試儀 套 ￥22500
四探針測試儀主機(jī)一臺、四探針測試臺一臺、四探針探頭一個、測試軟件（含測控模塊）、臺式電腦一臺